關(guān)鍵詞：純化水設備,反滲透設備,超濾設備
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半導體的制造、生物醫藥制造以及精密洗凈制程均需要使用大量的超純水，且隨著(zhù)制程精密度與安全度要求的提高，為確保生產(chǎn)制程之品質(zhì)，超純水的純度與良好的水質(zhì)管理已成為產(chǎn)業(yè)競爭力重要環(huán)節。就超純水水質(zhì)而言，各種制程所需的超純水純度與所要求之水質(zhì)的差亦不完全相同，為符合各類(lèi)制程的要求，超純水的生產(chǎn)經(jīng)常是各種不同單元之組合技術(shù)，其中，經(jīng)常使用的水處理技術(shù)單元包括預處理(如混凝、浮除)、離子交換、反滲透、電透析離子交換、脫氣、超慮、UV 殺菌及UV 臭氧氧化等技術(shù)，各種技術(shù)單元之間的組合，對于水質(zhì)控制與管理之特性將有所不同。因此，如何由水質(zhì)管理方面分析選用適當之水質(zhì)處理技術(shù)，將成為高效率的超純水設備設置的關(guān)鍵。
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